هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم
مركب كيميائي
هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم ( اختصاراً TMAH ) هو كاتيون أمونيوم رابعي يمكن كتابة صيغته على الشكل −N(CH3)4]+OH، ويوجد على هيئة صلب بلوري عديم اللون.
هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم | |
---|---|
الاسم النظامي (IUPAC) | |
N,N,N-Trimethylmethanaminium hydroxide |
|
أسماء أخرى | |
tetramethylammonium hydroxide |
|
المعرفات | |
الاختصارات | TMAH |
رقم CAS | |
CAS | 75-59-2 |
بوب كيم | 60966 |
مواصفات الإدخال النصي المبسط للجزيئات
|
|
الخواص | |
الصيغة الجزيئية | C4H13NO |
الكتلة المولية | 91.15 غ/مول |
المظهر | بلورات إبرية عديمة اللون |
الكثافة | 1.015 غ/سم3 |
نقطة الانصهار | 67 °س |
الذوبانية في الماء | 70 غ/100 مل ماء |
المخاطر | |
رمز الخطر وفق GHS | |
وصف الخطر وفق GHS | خطر |
في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال) | |
تعديل مصدري - تعديل |
التحضير
عدليحضر هذا الملح من تفاعل كلوريد رباعي ميثيل الأمونيوم مع هيدروكسيد البوتاسيوم في الميثانول الجاف.
الخواص
عدليوجد المركب في الشروط القياسية على هيئة بلورات إبرية عديمة اللون، وهي ذات انحلالية جيدة جداً في الماء. وهو عادة ما يستخدم على هيئة محلول. لهذا الملح خواص قاعدية قوية.[2] ويؤدي تسخينه إلى الحصول على ثلاثي ميثيل الأمين والميثانول.
الاستخدامات
عدليستخدم هذا المركب في مجال نقش السيليكون في مجال التصنيع الدقيق لأشباه الموصلات.[3]
طالع أيضاً
عدلالمراجع
عدل- ^ ا ب ج TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE (بالإنجليزية), QID:Q278487
- ^ Stewart، R.؛ O'Donnell، J. P. (1964). "Strongly basic systems: III.The H_ function for various solvent systems". Can. J. Chem. ج. 42 ع. 7: 1681–1693. DOI:10.1139/v64-251.
- ^ Thong، J. T. L.؛ Choi، W. K.؛ Chong، C. W. (1997). "TMAH etching of silicon and the interaction of etching parameters". Sensors and Actuators A: Physical. ج. 63 ع. 3: 243–249. DOI:10.1016/S0924-4247(97)80511-0.